Efekty wyładowań elektrostatycznych (ESD)
1.1 Problemy z ESD
Wyładowania elektrostatyczne (ESE) to niekontrolowany transfer ładunku między dwoma obiektami o różnych potencjałach elektrostatycznych. Najczęstszym skutkiem ESD jest uszkodzenie produktów wrażliwych na ładunki elektrostatyczne i uszkodzenie sprzętu. W przemyśle półprzewodnikowym i elektronicznym, a także w produkcji urządzeń medycznych lub optycznych, rejestrowaniu filmów medialnych, takie przypadki często występują. Aby zmniejszyć straty spowodowane wyładowaniami elektrostatycznymi, zaleca się stosowanie antystatycznego stołu warsztatowego podczas pracy, aby zapewnić bezpieczeństwo produkcji.
1.2 ESD budzące obawy w branży
W produkcji elektroniki półprzewodnikowej geometria urządzenia staje się coraz mniejsza, aby sprostać potrzebom miniaturyzacji, wyższej wydajności i większej prędkości pracy. Powoduje to większą gęstość dyskretnych urządzeń na płytce półprzewodnikowej, a zdarzenia ESD powodują uszkodzenie lub awarię urządzenia poprzez różne mechanizmy, takie jak topienie, zgazowanie linii powlekania metalem, cienkie przelotki tlenkowe i tym podobne. Zdarzenia ESD mogą również pogorszyć jakość urządzenia, tworząc potencjalną wadę lub „chore działanie”. Chociaż urządzenie może przejść test produkcyjny, przedwcześnie ulegnie awarii.
Przemysł cienkowarstwowy medyczny, optyczny i dielektryczny znany jest również jako „ładunki statyczne lub wyładowania elektrostatyczne”. Gdy folia jest osadzana na podłożu, zdarzenie elektrostatyczne może uszkodzić produkt w dowolnym momencie.
1.3 Wpływ ESD na działanie sprzętu
ESD nie tylko uszkodzi produkt, ale zdarzenia ESD wpłyną również na urządzenia produkcyjne produktu. Funkcje sterowania wielu urządzeń produkcyjnych wykorzystują mikroprocesory, a zdarzenia ESD mogą również wpływać na urządzenia produkcyjne produktu. Funkcje kontrolne wielu urządzeń produkcyjnych wykorzystują mikroprocesory, efekty promieniowania elektromagnetycznego (EMI) lub efekty przewodzenia generowane przez zdarzenia ESD, które mogą zakłócać działanie takiego sprzętu. Zakłócenia elektromagnetyczne generowane przez zdarzenie ESD na jednym urządzeniu mogą wpływać na działanie pobliskich urządzeń.
Ze względu na rosnącą automatyzację pomieszczeń czystych, ich działanie jest często kontrolowane przez skomputeryzowany system zarządzania zakładem (FMS). Gdy zdarzenie ESD powoduje problem z danymi z jednym urządzeniem, wpływa to na całą pracę instalacji. Mimo, że wyłączenie maszyny nie jest zazwyczaj katastrofalnym problemem, może spowodować przestoje, zmniejszoną szybkość przetwarzania, a czasem utratę produktu. Nieefektywność procesu produkcyjnego zwiększa koszty produkcji.