Warunki użytkowania wentylatorów jonowych w produkcji high-tech

Jan 12, 2022 Zostaw wiadomość

Warunki użytkowania wentylatorów jonowych w produkcji high-tech

Zmiana technologii obciążenia wentylatora jonowego wpłynie na kontrolę statyczną materiałów izolacyjnych w produkcji wyrobów high-tech. Kontrolowanie elektryczności statycznej to podstawa poprawy efektywności produkcji, poprawy jakości i zwiększenia zysków. W produkcji półprzewodników, dysków twardych i płaskich wyświetlaczy panelowych (FPD) kontrola elektrostatyczna jest jednym z podstawowych warunków produkcji. Brak kontroli elektryczności statycznej oznacza, że ​​produkty są narażone na duże zanieczyszczenie jonowe (problem ESA) i wyładowania elektrostatyczne (problem ESD) spowodowane przyciąganiem elektrostatycznym.


Organizacje takie jak ESD Association i Semiconductor Equipment and Materials International dysponują systemami kontroli statycznej, które eliminują problemy statyczne. Główną metodą jest użycie materiałów przewodzących ładunki elektrostatyczne i materiałów rozpraszających ładunki elektrostatyczne (w tym ciała ludzkiego) do bezpośredniego połączenia z ziemią w celu rozproszenia elektryczności statycznej. Jednak zarówno sam produkt, jak i środowisko pracy nieuchronnie wykorzystują materiały izolacyjne.


Gdy izolacja jest integralną częścią samego produktu materialnego, nie można jej wymienić. Na przykład płytki krzemowe z warstwami tlenkowymi są wykorzystywane w produkcji zaawansowanych technologicznie produktów, jednoprzewodowych urządzeń zamkniętych w żywicach epoksydowych, materiałów izolacyjnych na kołkach urządzeń, epoksydowych płytek drukowanych i tafli szklanych w przemyśle FPD. Ponadto teflon, kwarc i wiele tworzyw sztucznych są odporne na wysokie temperatury, korozję i kompatybilne z pomieszczeniami czystymi, ale wszystkie są materiałami izolacyjnymi. Uziemienie nie eliminuje ładunków statycznych na materiałach izolacyjnych, dlatego w większości przypadków jedyną pozostałą opcją jest neutralizacja jonizacją powietrza. Wymaga to użycia specjalnego sprzętu do eliminacji ładunków elektrostatycznych.