Analiza elektryczności statycznej w czystych pomieszczeniach
① Duża liczba wysokowydajnych dielektrycznych materiałów dekoracyjnych, podłóg, ścian, drzwi, sufitów, partycji, warsztatów, krzeseł itp. Materiały te są łatwo ładowane przez tarcia i nie są łatwe do wycieku i uwalniania.
Plastikowa podłoga ESD w pomieszczeniu fotolitografii wynosi 5 0 0 V ~ 1000 V, plastikowa podłoga w pomieszczeniu dyfuzyjnym wynosi 500 V ~ 1500 V, podłoga płytek ma również 500 V ~ 1500 V, plastikowa tapeta to 700 V, plastikowy sufit to 0 V ~ 1000 V, a metalowa ruchowa powierzchnia skórzanego krzesła wynosi 500 V ~ 3000 V.
② Kiedy ludzie noszą czyste ubrania, buty, spacery lub pracę, wygenerują statyczną elektryczność, gdy ocierają się o różne materiały i sprzęt, a ludzie, ubrania i buty zostaną obciążone.
Osoby noszące nylonowe ubrania ESD i plastikowe buty z gumy ESD chodzą powoli na czystej podłodze i niosą napięcie statyczne 7000 V ~ 8000 V. Spacer po winylowej podłodze może przenosić napięcie statyczne 1200 V (10%~ 20%RH), 250 V (65%~ 90%RH), chodzenie po dywanach może przenosić 35000 V (10%~ 20%RH), 1500 V (65%~ 90%RH), a ubrania robocze noszone przez pracowników na linii monety chipowej mogą osiągnąć 10 km.
③ Przepływ powietrza klimatyzacji przechodzi przez filtr pierwotny, filtr średnio i filtr o wysokiej wydajności, a oczyszczony przepływ powietrza wylotowego jest statycznie naładowany. Aluminiowe zasilanie powietrza i zwrotu zwrotnego wynosi około 500 ~ 1000 V.
④ Duża liczba sprzętu izolacyjnego, sprzętu i narzędzi jest również ważnymi źródłami ładunku statycznego. Linia produkcyjna montażu wafla: skrzynka załadunkowa 35 kV, ekologiczna pokrywa szklana 8kV, kwarcowe produkty 1,5 kV, taca waflowa 6kV, osłona akrylowa 20KV, stół top 10kV, plastikowa szafka do przechowywania 30KV, pudełko na obciążenie kryształu szklanego włókna przesuwającego się nad polpropylenowym stołem Krótko mówiąc, im wyższe wymagania dotyczące czystości w czystym pomieszczeniu, tym poważniejszy będzie ładunek statyczny.