Zagrożenia elektrycznością statyczną w pomieszczeniach czystych mikroelektroniki
Zwiększona elektryczność statyczna obniży wskaźnik jakości produktów elektronicznych, zakłócenia elektromagnetyczne zakłócą działanie sprzętu automatycznego, a adsorpcja elektrostatyczna zwiększy trudność zbierania cząstek powierzchniowych, dlatego konieczne jest również kontrolowanie wytwarzania elektryczności statycznej. Ponieważ ładunki elektrostatyczne w rzeczywistości przyciągają zanieczyszczenia na powierzchnię produktu lub narzędzia, w pomieszczeniach czystych skupia się uwagę na adsorpcji elektrostatycznej. Na przykład, gdy 4-calową płytkę naładuje się do 1KV, siła adsorpcji dla cząstek o średnicy 1 mikrona osiągnie 830000 funtów na cal kwadratowy. Dlatego adsorpcja elektrostatyczna pomiędzy naładowanymi obiektami i cząstkami będzie silniejsza niż grawitacja, siły aerodynamiczne i siły przyczepności.
Do głównych przejawów zagrożenia elektrycznością statyczną w czystych warsztatach przemysłu elektronicznego zalicza się:
1. Pochłaniaj kurz. W wyniku adsorpcji elektrostatycznej cząsteczki powietrza w pomieszczeniach czystych są adsorbowane na powierzchniach elementów elektronicznych i ścianach, wpływając na jakość i czystość produktu. Nowym źródłem kurzu w pomieszczeniach czystych stała się również elektryczność statyczna.
2. Powoduj pożary i eksplozje. W pomieszczeniach czystych w przemyśle elektronicznym wykorzystuje się dużą ilość łatwopalnych i wybuchowych gazów, cieczy i rozpuszczalników organicznych. Elektryczność statyczna może stać się źródłem zapłonu tych gazów (cieczy) i rozpuszczalników, powodując pożar lub eksplozję.
3. Wyładowanie koronowe lub wyładowanie iskrowe emituje hałas i zakłóca działanie sprzętu elektronicznego i podzespołów elektronicznych.
4. Wytworzyć elektrostatyczne pole elektryczne, powodujące zwarcie, zmęczenie lub uszkodzenie elementów elektronicznych.
Z tego powodu ciągłe doskonalenie technologii w przemyśle mikroelektroniki jest także przejawem ciągłego doskonalenia technologii antystatycznej. Oferta systemów ochrony elektrostatycznej jest coraz liczniejsza. Oprócz konwencjonalnych systemów ochrony personelu (odzież antystatyczna, obuwie antystatyczne, antystatyczne opaski na nadgarstki itp.), oprócz sprzętowych systemów ochrony, takich jak sprzęt eliminujący ładunki elektrostatyczne, należy jeszcze dodać utworzenie oprogramowanie systemów ochrony elektrostatycznej.