Ochrona środowiska przemysłu półprzewodników
Wraz ze wzrostem świadomości ekologicznej ludzi wzrasta poziom dbałości o kwestie ochrony środowiska. Mamy tylko jedną planetę. Jak chronić nasze środowisko życia, rozwijając gospodarkę, stało się pilnym tematem. Zmniejszyć obciążenie środowiska globalnego, zapewnić bezpieczeństwo i zdrowie oraz chronić środowisko. Oszczędzanie energii w celu oszczędzania zasobów, recyklingu odpadów, zmniejszania ilości odpadów i zarządzania zrzutami substancji chemicznych stało się konsensusem ludzi w celu ochrony środowiska. W połączeniu z promocją certyfikatu ISO14000 i celem budowy zielonej fabryki XXI wieku, ludzie czynnie podejmowali wysiłki na rzecz ochrony środowiska. Specyfika przemysłu produkcji półprzewodników sprawiła, że różne branże zwracają większą uwagę na kwestie ochrony środowiska.
Zapobieganie efektowi globalnego ocieplenia
Zapobieganie wpływowi globalnego ocieplenia stało się gorącym tematem, który był szeroko poruszany w ostatnich latach. W przemyśle produkcji półprzewodników występują dwa główne problemy:
1. Oszczędność energii
Sprzęt produkcyjny przemysłu półprzewodnikowego, urządzenia klimatyzacyjne, sprzęt źródła zimna / ciepła oraz wykorzystanie czystej wody, zasilania płynami, gazów spalinowych, gazu, urządzeń elektrycznych itp. Działają nieprzerwanie 24 godziny na dobę, 365 dni w roku i zużywają dużo energii. Z rodzaju zużycia energii elektrycznej i energii odpowiada około 85%, a źródła energii, takie jak paliwo i para, stanowią 15%. Z wykorzystania zużycia energii, urządzenia do produkcji przed procesem wynoszą około 40% -50%, klimatyzacja, sprzęt źródła zimna / ciepła wynosi około 30%, a inny sprzęt pomocniczy wynosi około 25%.
Oszczędzanie energii, redukcja kosztów i poprawa konkurencyjności produktów to zadania, które firmy wdrażają od dłuższego czasu. Z jednej strony dzięki transformacji technologicznej istniejącego sprzętu można osiągnąć znaczące korzyści ekonomiczne, ale z drugiej strony inwestycje w fabryki półprzewodników są obecnie ogromne, rozwój technologii jest niezwykle szybki. Jako przemysł półprzewodnikowy przyszły kierunek badań nad oszczędzaniem energii powinien być wykonany w następujących aspektach:
Sprzęt produkcyjny: poprawa wydajności przetwarzania energii, a tym samym poprawa wykorzystania energii w celu osiągnięcia oszczędności energii; zmniejszyć zużycie energii w stanie gotowości urządzenia, odpowiednio zmniejszyć obciążenie klimatyzacji, aby osiągnąć cele oszczędności energii; zmniejszyć wydajność wydechu urządzenia Obciążenie oczyszczaniem spalin jest zmniejszone, aby osiągnąć cele oszczędności energii; obszar instalacji urządzenia jest zredukowany, aby kontrolować obszar strefy oczyszczania w celu uzyskania oszczędności energii.
Sprzęt pomocniczy: miniaturyzacja sprzętu; zmniejszenie powierzchni obszaru wysokiego oczyszczania w celu zmniejszenia zużycia energii przez obieg powietrza w celu oszczędzania energii; wykorzystanie systemu klimatyzacji z niską stratą ciśnienia; wykorzystanie nowych materiałów izolacyjnych w celu promowania wygładzania zużycia energii; Użyj dwutlenku węgla generowanego podczas procesu zmniejszania zużycia energii.
Opracowywanie produktów i projektowanie procesów: opracowywanie produktów o wysokiej wartości dodanej; rozwój produktu zorientowany na koszty (redukcja obszaru wiórów, standaryzacja procesu, skrócenie cyklu projektowania); zwiększenie produkcji (zwiększenie wydajności, zmniejszenie liczby inżynierów i skrócenie czasu testu).
Rozwój samego przemysłu półprzewodników stał się bardzo wydajny, lekki, cienki i niskoenergetyczny. Przyczynił się do kierunku oszczędności energii dla maszyn i urządzeń. Czekamy na wprowadzenie nowego sprzętu do oszczędzania energii.
2. Zmniejsz PFC
PFC (PREFLUOROCARBON) jest stosowany głównie w inżynierii CVD do produkcji półprzewodników, jako gaz czyszczący oraz jako gaz procesowy w inżynierii suchego trawienia. PFC został uwzględniony w redukcji emisji ze względu na jego zdolność do niszczenia ziemskiej warstwy ozonowej. Większość z nich nie jest bezpośrednio przetwarzana i odprowadzana bezpośrednio do atmosfery, a zmniejszenie emisji PFC jest ważnym zagadnieniem, przed którym stoi przemysł produkcji półprzewodników w przyszłości.
Przyszłe kierunki badań skupią się na następujących aspektach:
Opracowanie rozładowanego systemu recyklingu PFC (obejmującego sposób skutecznego i ekonomicznego recyklingu, oddzielania i udoskonalania PFC); opracowanie nowych technologii przetwarzania PFC (konwersja PFC na emisje gazów innych niż cieplarniane)); rozwój alternatywnych gazów (zastępowanie gazów obecnie stosowanych gazami o małym współczynniku globalnego ocieplenia; opracowywanie nowych procesów (badania nowych procesów trawienia).
Japoński plan kontroli emisji PFC w przemyśle elektronicznym, ogłoszony w kwietniu 1998 r., Proponuje cel redukcji oparty na 1995 r. Do 2010 r. Emisje z każdego projektu zostaną zmniejszone o 70% dla nowej linii. Linia jest cięta o 10%. Stany Zjednoczone wyznaczyły również cel dla stopy odzysku PFC stosowanej w przemyśle półprzewodników. Tutaj krajowi gracze branżowi są proszeni o wczesne zwrócenie uwagi na ten problem.