Kontrola statyczna pomieszczenia czystego
(1) Podstawowe zasady kontroli statycznej
1 Określ poziom kontroli statycznej
2 Zminimalizuj generowanie ładunku statycznego
3 Metody odpowietrzania i neutralizacji przyspieszają rozpraszanie ładunku statycznego i zapobiegają akumulacji elektryczności statycznej
4 Chroń produkt przed uszkodzeniami spowodowanymi wyładowaniami elektrostatycznymi
(2) Określ poziom kontroli statycznej
1 Ocena czułości elektrostatycznej komponentów, komponentów i wyposażenia
Poziom 1: podatny na uszkodzenia od napięcia elektrostatycznego 0-1999 V.
Poziom 2: podatny na uszkodzenia od napięcia elektrostatycznego 2000-3999V
Poziom 3: podatny na uszkodzenia od napięcia elektrostatycznego 4000-5999V
Jeśli czułe napięcie statyczne jest większe niż 16000 V, nie jest konieczne podejmowanie środków antystatycznych.
2 Klasyfikacja obszaru roboczego ochrony elektrostatycznej
Klasa A: Pozostawić potencjał elektrostatyczny do uziemienia, aby nie przekroczyć ± 100V
Klasa B: Pozostawić potencjał elektrostatyczny do uziemienia, aby nie przekroczyć ± 1000V
W rzeczywistej inżynierii potencjał elektrostatyczny jest nie większy niż 100 V, 500 V, 1000 V oraz innych czułych na statyczne napięcia 3 elementów, komponentów i urządzeń.
(3) Zminimalizuj generowanie ładunku statycznego
Jest to pierwszy krok w kontrolowaniu trójstopniowej elektryczności statycznej. W tym czystym środowisku pracy najlepsze środki to:
1 Spróbuj użyć podobnego sprzętu, aby zmniejszyć ładunek elektrostatyczny generowany podczas procesu separacji tarcia kontaktowego;
2 Spróbuj użyć sprzętu, który przewodzi elektryczność statyczną lub materiały rozpraszające ładunki elektrostatyczne, aby zmniejszyć nagromadzony ładunek statyczny generowany przez proces separacji tarcia kontaktowego;
3 Spróbuj zmniejszyć proces produkcji, zmniejszając tarcie kontaktowe i generując ładunek statyczny.
(4) Uwalnianie i neutralizacja
Jest to drugi krok w kontrolowaniu triody elektryczności statycznej. Najbardziej powszechnym środkiem w czystym pomieszczeniu produkcji mikroelektroniki jest uziemienie, rozładowanie ładunku statycznego przez materiały przewodzące lub rozpraszające oraz ładunek statyczny w zjonizowanych odbiornikach.
1 ziemia
Pomieszczenie czyste powinno być wyposażone w niezależny system uziemienia elektrostatycznego, w tym uziemiony system podpory z metalową siatką i system stacji naziemnej stacji roboczej (etap). Aby metalowa obudowa całego wyposażenia w pomieszczeniu, metalowy wspornik mobilnego sprzętu, sprzęt antystatyczny itp. Bezpiecznie i skutecznie rozładowała ładunek statyczny na ziemię, a elektryfikacja pracownika została uziemiona przez pasek na nadgarstek, a antystatyczne buty lub pasek na pięcie są antystatyczne. Ziemia jest wypuszczona na ziemię. Grunt, ściana, sufit, przegrody itp. Są mocno uziemione, a obudowa urządzenia, sprzęt mobilny (samochód, krzesło, półka itp.), Stół warsztatowy itp. Są miękko uziemione.
2 jonizacja Xiao elektryczna
Nieuniknione jest, że pojawią się izolowane przewodniki, których nie można uziemić w elementach, płytkach drukowanych, liniach produkcyjnych i stacjach roboczych w pomieszczeniu czystym. Izolując materiały dielektryczne (takie jak większość popularnych tworzyw sztucznych), w niektórych środowiskach często stosuje się konsumentów jonizacji. Lokalnie rozprasza ładunek statyczny na tych obiektach, a częściej za pomocą jonizacji powietrza, aby zneutralizować ładunek elektrostatyczny przenoszony na medium izolacyjnym i na izolowanym przewodniku.
3 przewodzące statyczne i statyczne materiały rozpraszające
Materiały przewodzące i materiały rozpraszające ładunki elektrostatyczne są również dobrymi materiałami upuszczającymi ładunki elektrostatyczne dzięki ich przewodności elektrostatycznej i są bezpieczniejsze niż upusty przewodzące metal. Są one powszechnie używane jako podłogi, ściany, ławki i pojemniki obrotowe. Sprzęt antystatyczny, taki jak pęseta i szczotki.
(5) Ochrona przed ESD, ochrona produktów
To ostatni krok w trzystopniowej kontroli elektryczności statycznej. W czystym pomieszczeniu produkcji mikroelektroniki, aby zapobiec zjawisku ESD na elektrostatycznie wrażliwych elementach lub komponentach, PCB, jedną z metod jest zapewnienie właściwego uziemienia komponentów i komponentów. Blokada polega na „rozproszeniu” ładunku statycznego na produkcie; druga metoda polega na manipulowaniu opakowaniami i transporcie wrażliwego na ładunki elektrostatyczne urządzenia za pomocą odpowiednich metod i materiałów do pakowania. Materiały te skutecznie chronią ładunek przed wtargnięciem do produktu i zmniejszają ruch produktu w opakowaniu, tworząc ładunek elektrostatyczny.
W skali międzynarodowej półprzewodniki, płaskie wyświetlacze ciekłokrystaliczne, optoelektronika szybko się rozwijają, a integracja staje się coraz wyższa. Pojawiają się 8-calowe chipy 12-calowe, średnica wiórów staje się coraz cieńsza, a wymagania antystatyczne stają się coraz wyższe, patrz Tabela 4.
Stowarzyszenie ESD w Stanach Zjednoczonych rozpoczęło przegląd stali kontrolnej wyładowań elektrostatycznych ANS ESD S20.20-1999 i dokonało pewnych modyfikacji klasyfikacji czułości elektrostatycznej SSD, patrz tabele 5, 6 i 7.
Daje to użytkownikowi komponentu ostrzeżenie, że mogą być wymagane wymagania dotyczące kontroli środowiska, niezależnie od tego, czy dana osoba lub sprzęt są wytwarzane. Jeśli dopuszczalne napięcie w obszarze EPA osiągnie 25 V, obawiam się, że nasz istniejący sprzęt antystatyczny, sprzęt, narzędzia i inżynieria będą musiały ciężko pracować.